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电容位移传感器的测量， 建立在理想化平板式电容原理的基础上，
因此对所有导电材料无需特别的线性校准， 即可得到高精度的测量结果。通过线性校准后，
也可用于对半导体和绝缘体材料的测量。
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| 系列电容式位移传感器的
突出优点，是它的超高分辨率和稳定性。其高超的机械加工精度及完美的信号屏蔽措施使其达到纳米级的精度．高性能电容式传感器的纳米级分辨率使其成为目前纳米技术领域不可或缺的产品。另外，还可将其用于测量非导电目标的位置或其他特性。 |
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图片 |
编号 |
量程 |
线性(FSO) |
分辨率(FSO) |
响应频率 |
输出 |
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CP-HR-1 |
50/80/100/250/500/1250/2000/6000μm |
非线性 |
≤±0.02% |
15kHz |
0-10VDC |
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CP-HR-11 |
50/80/100/250/500/1250/2000/6000μm |
0.3μm |
15kHz |
0-10VDC |
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CP-HR-C |
50/250/500/2500μm |
≤±0.3 % |
≤±0.008% |
15kHz |
-10-+10VDC |
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CP-HR-19 |
10/20/25/50/80/100/250
/500/1250/2000/2500/6000μm |
≤±0.2 % |
≤±0.005% |
15kHz |
-10-+10VDC
RS232 |
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CP-HR-29 |
≤±0.2 % |
≤±0.0015 % |
15kHz |
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| 厚度测试 |
振动测试 |
平整度测试 |
偏心测试 |
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